Effect of SrTiO3 seed layer thickness on low-temperature crystallization and electrical properties of Pb(Zr, Ti)O3 films by metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD)

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of SrTiO3 seed layer thickness on low-temperature crystallization and electrical properties of Pb(Zr, Ti)O3 films by metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD)

著者

和文:	Ji-Won Moon, Shogo Tazawa, Naoki Wakiya, Keisuke Fujito, Naohiko Iimori, Takanori Kiguchi, Tomohiko Yoshioka, Junzo Takanka, Kazuo Shinozaki.
英文:	Ji-Won Moon, Shogo Tazawa, Naoki Wakiya, Keisuke Fujito, Naohiko Iimori, Takanori Kiguchi, Tomohiko Yoshioka, Junzo Takanka, Kazuo Shinozaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

No. 24pP06 pp. 133

出版年月

2007年5月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	STAC-JTMC-2007

開催地

和文:
英文:	Shonan Villiage Center (Kanagawa)