Improvement of crystalline quality of N-polar AIN layers on c-plane sapphire by low-pressure flow-modulated MOCVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Improvement of crystalline quality of N-polar AIN layers on c-plane sapphire by low-pressure flow-modulated MOCVD

著者

和文:	Takeuchi M., Shimizu H., Kajitani R., Kawasaki K., Kumagai Y., Koukitu A., Aoyagi Y..
英文:	Takeuchi M., Shimizu H., Kajitani R., Kawasaki K., Kumagai Y., Koukitu A., Aoyagi Y..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Crystal Growth

巻, 号, ページ

Vol. 298 pp. 336-340

出版年月

2007年

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI