Electric Properties of Zinc Oxide Epitaxial Films Grown by Ion Beam Sputtering with Oxygen-Radical Irradiation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electric Properties of Zinc Oxide Epitaxial Films Grown by Ion Beam Sputtering with Oxygen-Radical Irradiation

著者

和文:	T. Tsurumi, S. Nishizawa, N. Ohashi, T. Ohgaki.
英文:	T. Tsurumi, S. Nishizawa, N. Ohashi, T. Ohgaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 38 pp. 3682-3688

出版年月

1999年

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI