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論文・著書情報


タイトル
和文:FinFETのSpacer領域形状変化のデバイス特性への影響 
英文: 
著者
和文: 小林勇介, 筒井一生, 角嶋邦之, V. Hariharan, V.R. Rao, パールハットアヘメト, 岩井洋.  
英文: Yusuke Kobayashi, KAZUO TSUTSUI, Kuniyuki KAKUSHIMA, V. Hariharan, V.R. Rao, Ahmet Parhat, HIROSHI IWAI.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:春季第54回応用物理学会学術講演会予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ     No. 02    pp. 924
出版年月 2007年3月 
出版者
和文:応用物理学会 
英文: 
会議名称
和文:春季第54回応用物理学会学術講演会 
英文: 
開催地
和文:青山学院大学 
英文: 

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