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論文・著書情報


タイトル
和文:原子状水素アニールによるSi/Ge/SOI構造メタルS/D pMOSFETの特性改善 
英文: 
著者
和文: 上原貴志, 田辺聡, 松原寛, 中根了昌, 菅原聡, 高木信一.  
英文: 上原貴志, SATOSHI SUGAHARA, 松原寛, 中根了昌, SATOSHI SUGAHARA, 高木信一.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第54回応用物理学関係連合講演会 
英文: 
巻, 号, ページ         p. 28a-ZQ-9
出版年月 2007年3月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第54回応用物理学関係連合講演会, 相模原, 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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