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論文・著書情報


タイトル
和文:(110)面SiGe/SOI構造の酸化濃縮による(110)GOI基板の作製 
英文: 
著者
和文: Sanjeewa Dissanayake, 熊谷寛, 菅原聡, 高木信一.  
英文: Sanjeewa Dissanayake, 熊谷寛, 菅原聡, 高木信一.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 31p-ZG-15
出版年月 2006年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:第67回応用物理学会学術講演会, 草津, 
開催地
和文: 
英文: 

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