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論文・著書情報


タイトル
和文:Ge上薄膜Siのプラズマ酸化によるSiO2/Ge MISキャパシタの作製と電気特性 
英文: 
著者
和文: 熊谷寛, 七条真人, 石川寛人, 星井拓也, 菅原聡, 高木信一.  
英文: 熊谷寛, 七条真人, 石川寛人, 星井拓也, 菅原聡, 高木信一.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 8p-ZK-21
出版年月 2005年 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第66回応用物理学会学術講演会, 徳島, 
英文: 
開催地
和文: 
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