Rapid Growth of Diamond-like Carbon Films by Nanopulse Magnetron Chemical Vapor Deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Rapid Growth of Diamond-like Carbon Films by Nanopulse Magnetron Chemical Vapor Deposition

著者

和文:	Masanori Saito, Takao Saito, Yoshimasa Kondo, Hiroya Murakami, Naoto Ohtake.
英文:	Masanori Saito, Takao Saito, Yoshimasa Kondo, Hiroya Murakami, Naoto Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 46 No. 5A pp. 3029-3031

出版年月

2007年

出版者

和文:
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会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI