Electrical Properties of Metal-Ferroelectric-Insulator-Semiconductor(MFIS)-and Metal-Ferroelectric-Metal-Insulator-Semiconductor (MFMIS)-FETs Using Ferroelectric SrBi2Ta2O9 Film and SrTa2O6/SiON Buffer Layer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electrical Properties of Metal-Ferroelectric-Insulator-Semiconductor(MFIS)-and Metal-Ferroelectric-Metal-Insulator-Semiconductor (MFMIS)-FETs Using Ferroelectric SrBi₂Ta₂O₉ Film and SrTa₂O₆/SiON Buffer Layer

著者

和文:	徳光永輔, 藤井厳, 石原宏.
英文:	Eisuke TOKUMITSU, Gen FUJII, Hiroshi ISHIWARA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 39 No. 4B pp. 2125-2130

出版年月

2000年4月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI