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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Aluminum Doped Hydrogenated Microcrystalline Cubic Silicon Carbide Films Deposited by Hot Wire CVD 
著者
和文: S.Miyajima, A.Yamada, M.Konagai.  
英文: S.Miyajima, A.Yamada, M.Konagai.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Thin Solid Films 
巻, 号, ページ Vol. 501    No. 1-2    pp. 186-189
出版年月 2005年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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