Home >

news ヘルプ

論文・著書情報


タイトル
和文:VHFプラズマCVD法によるn型ナノ結晶SiC:H薄膜の低温堆積 
英文: 
著者
和文: 品川友宏, 澤村 誠, 宮島晋介, 山田 明, 小長井 誠.  
英文: Tomohiro Shinagawa, Makoto Sawamura, Shinsuke Miyajima, AKIRA YAMADA, MAKOTO KONAGAI.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第68回応用物理学会秋季学術講演会 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 4p-M-16
出版年月 2007年9月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第68回応用物理学会秋季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:北海道工業大学 
英文: 

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.