Improvement of Thermal Stability of Ni Silcide by Additive Metals with Specific Introduction Processes

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Improvement of Thermal Stability of Ni Silcide by Additive Metals with Specific Introduction Processes

著者

和文:	筒井一生, K.Nagahiro, T.Shiozawa, AHMET PARHAT, 角嶋邦之, 岩井洋.
英文:	K.Tsutsui, K.Nagahiro, T.Shiozawa, P.Ahmet, K.Kakushima, H.Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	ECS Transactions:ULSI Process Integration 5

巻, 号, ページ

Vol. 11 No. 6 pp. 207-213

出版年月

2007年10月

出版者

和文:
英文:	The Electrochemical Society

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI