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論文・著書情報


タイトル
和文:Biバッファ層を用いたシリケート添加BLT薄膜の特性評価 
英文: 
著者
和文: 田渕良志明, 田村哲朗, 石原宏.  
英文: 田渕良志明, 田村哲朗, HIROSHI ISHIWARA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第64回応用物理学会学術講演会 
英文: 
巻, 号, ページ     No. 30p-V-14   
出版年月 2003年 
出版者
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会議名称
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開催地
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