2段階OMVPE成長GaInAsP/InP量子井戸レーザにおけるRIEプラズマ損傷とその低減

論文・著書情報

タイトル

和文:	2段階OMVPE成長GaInAsP/InP量子井戸レーザにおけるRIEプラズマ損傷とその低減
英文:

著者

和文:	黒川宗高, Dhanorm Plumwongrot, 西本頼史, 丸山武男, 西山伸彦, 荒井滋久.
英文:	Munetaka Kurokawa, Dhanorm Plumwongrot, 西本頼史, Takeo Maruyama, Nobuhiko Nishiyama, SHIGEHISA ARAI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第68回応用物理学会学術講演会
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 札幌 no. 7p-C-6 p. 1162

出版年月

2007年9月

出版者

和文:	応用物理学会
英文:

会議名称

和文:	第68回応用物理学会学術講演会
英文:

開催地

和文:
英文: