論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Surface Passivation of Crystalline and Polycrystalline Silicon Using Hydrogenated Amorphous Silicon Oxide Film

著者

和文:	ｽﾘﾀﾗﾃｲｸﾝｼﾞﾔﾗﾝ, BANERJEE CHANDAN, Michio Otsubo, 杉浦勉, 山本紘史, 佐藤剛彦, LIMMANEE AMORNRAT, 山田明, 小長井誠.
英文:	Jaran Sritharathikhun, Chandan Banerjee, Michio Otsubo, Tsutomu Sugiura, Hiroshi Yamamoto, Takehiko Sato, Amornrat Limmanee, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 46 No. 6A pp. 3296-3300: (A01,A10)

出版年月

2007年6月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI

T2R2について