Design and Nanomotion Control of a Noncontact Stage with Squeeze Bearings

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Design and Nanomotion Control of a Noncontact Stage with Squeeze Bearings

著者

和文:	吉岡勇人, 後閑利通, 新野秀憲.
英文:	Hayato Yoshioka, Toshimichi Gokan, Hidenori Shinno.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	International Journal of Automation Techonology

巻, 号, ページ

Vol. 2 No. 1 pp. 18-23

出版年月

2008年1月

出版者

和文:
英文:	Fuji technology Press Ltd.

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: