Preparation of Hydrogenated Amorphous Silicon Carbon Nitride Films by Hot-Wire Chemical Vapor Deposition Using Hexamethyldisilazane for Silicon Solar Cell Applications

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Preparation of Hydrogenated Amorphous Silicon Carbon Nitride Films by Hot-Wire Chemical Vapor Deposition Using Hexamethyldisilazane for Silicon Solar Cell Applications

著者

和文:	LIMMANEE AMORNRAT, Michio Otsubo, 佐藤剛彦, 宮島晋介, 山田明, 小長井誠.
英文:	Amornrat Limmanee, Michio Otsubo, Takehiko Sato, Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 46 No. 1 pp. 56-59

出版年月

2007年1月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI