Characterization of intrinsic SiC:H films deposited by VHF-PECVD for Thin Film Solar Cell Applications

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characterization of intrinsic SiC:H films deposited by VHF-PECVD for Thin Film Solar Cell Applications

著者

和文:	安建浩, Ihsanul Afdi Yunaz, Kobsak Sriprapha, 宮島晋介, 山田明, 小長井誠.
英文:	K.H. Ahn, Ihsanul Afdi Yunaz, SRIPRAPHA KOBSAK, Shinsuke Miyajima, AKIRA YAMADA, MAKOTO KONAGAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	第54回応用物理学関係連合講演会
英文:

巻, 号, ページ

pp. 30a-X-11

出版年月

2007年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第54回応用物理学関係連合講演会
英文:

開催地

和文:	青山学院相模原キャンパス
英文: