Multi-gas high purity plasma source for reduce to atmospheric plasma processing

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Multi-gas high purity plasma source for reduce to atmospheric plasma processing

著者

和文:	沖野晃俊, 宮原秀一, 景安泰干, 熊谷航, 滝本和靖, 堀田栄喜, 嶋田隆一.
英文:	AKITOSHI OKINO, Hidekazu Miyahara, Taichi Kageyasu, Wataru Kumagai, Kazuyasu Takimoto, EIKI HOTTA, Ryuichi Shimada.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

p. 312

出版年月

2007年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The Sixth Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering

開催地

和文:
英文: