Effects of Supercritical CO2 on Adhesive Strength between Micro-sized Photoresist pattern and Si Substrate

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effects of Supercritical CO2 on Adhesive Strength between Micro-sized Photoresist pattern and Si Substrate

著者

和文:	石山千恵美, 柴田曉伸, 曽根正人, 肥後矢吉.
英文:	Chiemi Ishiyama, Akinobu Shibata, Masato Sone, Yakichi Higo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Material Research Society

巻, 号, ページ

pp. DD6.26

出版年月

2007年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2007 MRS Fall Meeting

開催地

和文:
英文:	Hynes Convention Center and Sheraton Boston Hotel, Boston, MA