Patterning of poly(vinyliden fluoride-trifluoroethylene) thin films by oxygen plasma etching

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Patterning of poly(vinyliden fluoride-trifluoroethylene) thin films by oxygen plasma etching

著者

和文:	J-W.Yoon, S.Fujisaki, H.Ishiwara.
英文:	J-W.Yoon, S.Fujisaki, H.Ishiwara.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	4th Conf. on New Exploratory Technologies

巻, 号, ページ

Vol. Eo3-03

出版年月

2007年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	4th Conf. on New Exploratory Technologies

開催地

和文:
英文:	Seoul