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論文・著書情報
タイトル
和文:
薄膜 ZMC 法による FeSi2 薄膜の結晶相の制御および物性評価
英文:
著者
和文:
井上 建
,
寺澤 真輔
,
伊原 学
.
英文:
Takeru Inoue
,
shinsuke terasawa
,
Manabu Ihara
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
化学工学会第73回年会研究発表講演要旨集
英文:
巻, 号, ページ
pp. CD-ROM
出版年月
2008年3月
出版者
和文:
化学工学会
英文:
会議名称
和文:
化学工学会第73回年会
英文:
開催地
和文:
静岡
英文:
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