Home >

news ヘルプ

論文・著書情報


タイトル
和文:超臨界二酸化炭素処理を利用した微小レジストパターン-基板間の密着強度の向上 
英文: 
著者
和文: 石山千恵美, 曽根正人, 肥後矢吉.  
英文: CHIEMI ISHIYAMA, Masato Sone, YAKICHI HIGO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2008年3月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:化学工学会第73年会 
英文: 
開催地
和文:静岡大学浜松キャンパス 
英文: 

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.