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論文・著書情報


タイトル
和文:アモルファス炭素膜の合成とガスバリア性評価 
英文: 
著者
和文: 村上碩哉.  
英文: Hiroya MURAKAMI.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:砥粒加工学会C41 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2007年10月 
出版者
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会議名称
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開催地
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