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論文・著書情報


タイトル
和文:a-C:H膜の合成と光学的特性及び酸素透過率の評価 
英文: 
著者
和文: 村上碩哉.  
英文: Hiroya MURAKAMI.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:応用物理学会予稿集分冊 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 640-69
出版年月 2007年9月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:応用物理学会 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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