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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Deposition of diamond-like carbon and amorphous boron nitride films using nanopulse magnetron chemical vapor deposition method 
著者
和文: 村上碩哉.  
英文: Hiroya MURAKAMI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:ISPC18 
巻, 号, ページ         p. 380
出版年月 2007年7月 
出版者
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会議名称
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開催地
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