Modeling of Plasma CVD on the Inner Surface of a Micro Channel

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Modeling of Plasma CVD on the Inner Surface of a Micro Channel

著者

和文:	Motoki Kadowaki, Aguru Yamamoto, 森伸介, 鈴木正昭.
英文:	Motoki Kadowaki, Aguru Yamamoto, Shinsuke Mori, Masaaki Suzuki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Thin Solid Films

巻, 号, ページ

Vol. 515 No. 9 pp. 4197-4202

出版年月

2007年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文:

DOI