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論文・著書情報


タイトル
和文:光ファイバ伝播光でのアシストエッチングによるシリコンの穴あけ 
英文: 
著者
和文: 山下祥宣, 比田井洋史, 戸倉和, 細野高史.  
英文: Yoshinobu Yamashita, Hirofumi Hidai, HITOSHI TOKURA, takashi hosono.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2007年度精密工学会春期大会学術講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 753-754
出版年月 2007年9月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:精密工学会春期大会 
英文: 
開催地
和文:東京都港区 
英文: 

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