Functional BN Films Fabricated by Synchronous CVD using Laser and Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Functional BN Films Fabricated by Synchronous CVD using Laser and Plasma

著者

和文:	Shojiro Komatsu, 佐藤裕平, Yusuke Moriyoshi, Toyohiro Chikyo, 渡辺隆行.
英文:	Shojiro Komatsu, Yuhei Sato, Yusuke Moriyoshi, Toyohiro Chikyo, Takayuki Watanabe.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Abstracts of Papers of 20th Symposium on Plasma Science for Material

巻, 号, ページ

No. 22A-p4 p. 133

出版年月

2007年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	20th Symposium on Plasma Science for Material

開催地

和文:	名古屋大学
英文: