Effects of Supercritical Carbon Dioxide on Adhesive Strength between Micro-sized Photoresists and Silicon Substrates

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effects of Supercritical Carbon Dioxide on Adhesive Strength between Micro-sized Photoresists and Silicon Substrates

著者

和文:	石山千恵美, 柴田曉伸, 曽根正人, 肥後矢吉.
英文:	Chiemi Ishiyama, Akinobu Shibata, Masato Sone, Yakichi Higo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Microelectromechanical Systems--Materials and Devices, MRS symposium Proceedings

巻, 号, ページ

Vol. 1052 pp. 217-222

出版年月

2007年11月

出版者

和文:
英文:	Materials Research Society

会議名称

和文:
英文:	2007 MRS Fall Meeting

開催地

和文:
英文:	Hynes Convention Center and Sheraton Boston Hotel, Boston, MA