Optimization of a gas jet-type Z-pinch discharge EUV light source

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Optimization of a gas jet-type Z-pinch discharge EUV light source

著者

和文:	飯塚直哉, 坂本敏郎, 小林靖典, 宋仁皓, Smruti R. Mohanty, 渡邊正人, 沖野晃俊, 堀田栄喜.
英文:	Naoya Iizuka, Toshiro Sakamoto, Yasunori Kobayashi, Inho Song, Smruti R. Mohanty, Masato Watanabe, AKITOSHI OKINO, Eiki Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2006年5月

出版者

和文:	日本分光学会
英文:

会議名称

和文:	平成18年度日本分光学会春季講演会・シンポジウム
英文:

開催地

和文:	東京
英文: