Role of halogen in low-temperature growth of polycrystalline thin films by reactive thermal CVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Role of halogen in low-temperature growth of polycrystalline thin films by reactive thermal CVD

著者

和文:	佐々木直人, Lim Cheol, 半那純一.
英文:	N. Sasaki, C. Lim, J. Hanna.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2007年8月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	22nd International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconducto

開催地

和文:
英文:	Breckenridge, USA