Influence of plasma power and substrate temperature on structure of nanocrystalline germanium carbon thin films by VHF plasma CVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Influence of plasma power and substrate temperature on structure of nanocrystalline germanium carbon thin films by VHF plasma CVD

著者

和文:	屋敷保聡, Seiichi Kouketsu, 宮島晋介, 山田明, 小長井誠.
英文:	Yasutoshi Yashiki, Seiichi Kouketsu, Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Non-Crystalline Solids

巻, 号, ページ

Vol. 354 No. 19-25 pp. 2355-2358

出版年月

2008年2月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI