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論文・著書情報


タイトル
和文:rf対向ターゲットスパッタ法による低損失(Ba0.4,Sr0.6)TiO3薄膜の作製 
英文: 
著者
和文: 村嶋 祐二, 玉井 万尋, 小牧 一樹, 中川 茂樹.  
英文: Yuji Murashima, K. Tamai, K. Komaki, Shigeki Nakagawa.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第25回 強誘電体応用会議 (FMA-25)予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ         30-T-15
出版年月 2008年5月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第25回 強誘電体応用会議 (FMA-25) 
英文: 
開催地
和文: 
英文:Kyoto / Japan 

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