RIE-plasma Induced Optical Property Degradation in GaInAsP/InP Quantum-Well Structures

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	RIE-plasma Induced Optical Property Degradation in GaInAsP/InP Quantum-Well Structures

著者

和文:	黒川宗高, Plum Wongrot Dhanorm, 小沢浩二, 丸山武男, 西山伸彦, 荒井滋久.
英文:	Munetaka Kurokawa, Plum Wongrot Dhanorm, Koji Ozawa, Takeo Maruyama, Nobuhiko Nishiyama, Shigehisa Arai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Digest of IPRM2008

巻, 号, ページ

No. WeP39

出版年月

2008年5月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 20th International Conference on Indium Phosphide and Related Materials (IPRM2008)

開催地

和文:
英文:	Versaille, France

DOI