Direct Evidence of Polycrystalline Silicon Thin Films Formation during Aluminum Induced Crystallization by In-Situ Heating TEM Observation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Direct Evidence of Polycrystalline Silicon Thin Films Formation during Aluminum Induced Crystallization by In-Situ Heating TEM Observation

著者

和文:	Seiichiro Ii, Takeshi Hirota, Kensuke Fujimoto, Youhei Sugimoto, 高田尚記, Ken-ichi Ikeda, Hideharu Nakashima, Hiroshi Nakashima.
英文:	Seiichiro Ii, Takeshi Hirota, Kensuke Fujimoto, Youhei Sugimoto, Naoki Takata, Ken-ichi Ikeda, Hideharu Nakashima, Hiroshi Nakashima.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Materials Transactions

巻, 号, ページ

Vol. 49 No. 4 pp. 723-727

出版年月

2008年4月

出版者

和文:
英文:	The Japan Institute of Metals

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI