アルミニウム誘起結晶化法による多結晶シリコン薄膜形成挙動のその場加熱観察 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	アルミニウム誘起結晶化法による多結晶シリコン薄膜形成挙動のその場加熱観察
英文:

著者

和文:	池田賢一, 廣田健, 藤本健資, 杉本陽平, 高田尚記, 井誠一郎, 中島英治, 中島寛.
英文:	池田賢一, 廣田健, 藤本健資, 杉本陽平, naoki takata, 井誠一郎, 中島英治, 中島寛.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	まてりあ
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 45 No. 12 pp. 843

出版年月

2006年12月

出版者

和文:	日本金属学会
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会議名称

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開催地

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英文:

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