アルミ誘起結晶化法により作製した多結晶シリコン薄膜の組織 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	アルミ誘起結晶化法により作製した多結晶シリコン薄膜の組織
英文:

著者

和文:	廣田健, 高田尚記, 池田賢一, 吉田冬樹, 中島英治, 阿部弘, 杉本陽平, 中島寛.
英文:	廣田健, naoki takata, 池田賢一, 吉田冬樹, 中島英治, 阿部弘, 杉本陽平, 中島寛.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	九州大学超高圧電顕室研究報告
英文:

巻, 号, ページ

No. 28 pp. 59-60

出版年月

2004年5月

出版者

和文:	九州大学超高圧電顕室
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

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