MOCVD法によるAl<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜の作製 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	MOCVD法によるAl₂O₃薄膜の作製
英文:

著者

和文:	田中貴司, 吉岡朋彦, 脇谷尚樹, 長田晃, 田中順三, 篠崎和夫.
英文:	Takashi Tanaka, Tomohiko Yoshioka, Naoki Wakiya, 長田晃, Junzo Tanaka, KAZUO SHINOZAKI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第24回日本セラミックス協会関東支部研究発表会
英文:

巻, 号, ページ

No. 1A01 p. 1

出版年月

2008年7月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第24回日本セラミックス協会関東支部研究発表会
英文:

開催地

和文:	箱根, 神奈川
英文:

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