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論文・著書情報


タイトル
和文:薄膜 ZMC 法により結晶相を制御した FeSi 系薄膜の電気物性 
英文: 
著者
和文: 井上 建, 田中 佑宜, 寺澤 真輔, 伊原 学.  
英文: Takeru Inoue, Yuuki Tanaka, shinsuke terasawa, Manabu Ihara.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:化学工学会第４０回秋季大会講演要旨集 
英文: 
巻, 号, ページ         CD-ROM
出版年月 2008年9月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:化学工学会第４０回秋季大会 
英文: 
開催地
和文:仙台 
英文: 

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