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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Excited State Distributions of Hydrogen Atoms and Molecules in Microwave Discharge Hydrogen Plasma and Effect of EEDF 
著者
和文: 清水 良浩, 橘高 勇介, 松浦 治明, 根津 篤, 赤塚 洋.  
英文: Y. Shimizu, Y. Kittaka, H. Matsuura, A. Nezu, H. Akatsuka.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Proc. 23 International Symposium on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum 
巻, 号, ページ         pp. 533-536
出版年月 2008年9月 
出版者
和文: 
英文:Univ. Politehnica of Bucharest 
会議名称
和文: 
英文:23 International Symposium on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum 
開催地
和文: 
英文:Univ. Politehnica of Bucharest, Romania 
DOI https://doi.org/10.1109/DEIV.2008.4676848

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