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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
Excited State Distributions of Hydrogen Atoms and Molecules in Microwave Discharge Hydrogen Plasma and Effect of EEDF
著者
和文:
清水 良浩
,
橘高 勇介
,
松浦 治明
,
根津 篤
,
赤塚 洋
.
英文:
Y. Shimizu
,
Y. Kittaka
,
H. Matsuura
,
A. Nezu
,
H. Akatsuka
.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
Proc. 23 International Symposium on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum
巻, 号, ページ
pp. 533-536
出版年月
2008年9月
出版者
和文:
英文:
Univ. Politehnica of Bucharest
会議名称
和文:
英文:
23 International Symposium on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum
開催地
和文:
英文:
Univ. Politehnica of Bucharest, Romania
DOI
https://doi.org/10.1109/DEIV.2008.4676848
©2007
Institute of Science Tokyo All rights reserved.