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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Direct wafer bonding of GaInAsP/InP membrane structure on silicon-on-insulator substrate 
著者
和文: 丸山武男, 奥村忠嗣, 荒井滋久.  
英文: Takeo Maruyama, Tadashi Okumura, SHIGEHISA ARAI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Jpn. J. Appl. Phys 
巻, 号, ページ Vol. 45    No. 11    pp. L8717-L8718
出版年月 2006年11月 
出版者
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会議名称
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開催地
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英文: 
DOI https://doi.org/10.1143/JJAP.45.8717

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