Improvement of Bond strength between Micro-sized photoresist components and silicon substrate usingsupercritical carbon dioxide cleaning

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Improvement of Bond strength between Micro-sized photoresist components and silicon substrate usingsupercritical carbon dioxide cleaning

著者

和文:	石山千恵美, 柴田曉伸, 曽根正人, 肥後矢吉.
英文:	Chiemi Ishiyama, Akinobu Shibata, Masato Sone, Yakichi Higo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2008年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	34th International Micro - Nano Engineering Conference (MNE 2008), 15-18 September 2008

開催地

和文:
英文:	Athens - Greece