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論文・著書情報


タイトル
和文:MEMS用微小レジスト構造部材－基板間の接合強度に及ぼす膜厚の影響 
英文:Effects of Resist film thickness on Bond Strength between Micro-sized Resist components and a substrate 
著者
和文: 石山 千恵美, 柴田 曉伸, 曽根 正人, 肥後 矢吉.  
英文: CHIEMI ISHIYAMA, Akinobu Shibata, Masato Sone, YAKICHI HIGO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
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巻, 号, ページ        
出版年月 2008年8月 
出版者
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会議名称
和文:機械学会2008年 
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開催地
和文:横浜国大 
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