Effects of Aspect Ratio of Micro-sized Photoresist Patterns on Bond Strength between the Photoresist and Si Substrate

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effects of Aspect Ratio of Micro-sized Photoresist Patterns on Bond Strength between the Photoresist and Si Substrate

著者

和文:	石山千恵美, 柴田曉伸, 曽根正人, 肥後矢吉.
英文:	Chiemi Ishiyama, Akinobu Shibata, Masato Sone, Yakichi Higo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2008年12月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	MRS2008 Fall Meeting

開催地

和文:
英文:	Hynes Convention Center & Sheraton Boston Hotel Boston, MA