Measurement of Spectroscopic Properties of Damage-Free Plasma for Metal Surface Cleaning

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Measurement of Spectroscopic Properties of Damage-Free Plasma for Metal Surface Cleaning

著者

和文:	山崎正太郎, Ryota Sasaki, 宮原秀一, 嶋田隆一, 堀田栄喜, 沖野晃俊.
英文:	Shotaro Yamasaki, Ryota Sasaki, Hidekazu Miyahara, Ryuichi Shimada, Eiki Hotta, Akitoshi Okino.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

p. 100 P23

出版年月

2008年12月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	平成20年度(社)日本分光学会年次講演会(2008/11/19~2008/11/21)
英文:

開催地

和文:
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