Deposition of undoped indium oxide thin films on stripe-patterned substrates by spray CVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Deposition of undoped indium oxide thin films on stripe-patterned substrates by spray CVD

著者

和文:	T.Kondo, 舟窪浩, 秋山賢輔, H.Enta, Y.Seki, M.H.Wang, T.Uchida, Y.Sawada.
英文:	T.Kondo, H.Funakubo, K.Akiyama, H.Enta, Y.Seki, M.H.Wang, T.Uchida, Y.Sawada.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Crystal Growth

巻, 号, ページ

Vol. 311 pp. 642-646

出版年月

2009年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI