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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Thermal stability improvement of Si1 − yCy layers by SiO2 cap layers 
著者
和文: 石原 英恵, 井上 駒樹, 山田 明, 小長井 誠.  
英文: Hanae Ishihara, Komaki Inoue, Akira Yamada, Makoto Konagai.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Thin Solid Films 
巻, 号, ページ Vol. 517    No. 1-3    pp. 213-215
出版年月 2008年11月 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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DOI https://doi.org/10.1016/j.tsf.2008.08.013

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