Mechanical Properties and Atomic Structure of Diamond-Like-Carbon Films Fabricated by Unbalanced Magnetron Sputtering

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Mechanical Properties and Atomic Structure of Diamond-Like-Carbon Films Fabricated by Unbalanced Magnetron Sputtering

著者

和文:	Shinji Fujimoto, 大竹尚登.
英文:	Shinji Fujimoto, Naoto Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. 3rd Int. Conf. Materials and Processing

巻, 号, ページ

Vol. 1 MSEC/ICM&P pp. 72317-1~72317-6

出版年月

2008年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: