熱酸化によるSiナノワイヤ形状の酸化条件依存性

論文・著書情報

タイトル

和文:	熱酸化によるSiナノワイヤ形状の酸化条件依存性
英文:

著者

和文:	上村英之, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 杉井信之, 大毛利健二, 服部健雄, 岩井洋.
英文:	Hideyuki Kamimura, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, Kenji Ohmori, takeo hattori, HIROSHI IWAI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	春季第55回応用物理学会学術講演会予稿集
英文:

巻, 号, ページ

No. 2 pp. 913

出版年月

2008年3月

出版者

和文:	応用物理学会
英文:

会議名称

和文:	春季第55回応用物理学会学術講演会
英文:

開催地

和文:	日本大学
英文: